當廢氣經過等離子發生器時，在高壓脈沖電場中，通過前后沿陡峭、脈寬極窄（ns）的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體，即產生大量高能電子（約5eV）和具有極強氧化性能的羥基自由基（·OH、·HO2、·O ）、以及子氧化性極強O3 等高能活性粒子，與廢氣中有機物分子進行非彈性碰撞，使有機物分子化學鍵斷裂，發生一系列復雜氧化、降解化學反應，最終使廢氣中有毒有害有機物轉變為無害的二氧化碳和水等，使廢氣得到凈化。該項技術已獲得國家實用新型專利（專利號：201020181614.1）。